今天我給大家經(jīng)濟(jì)等離子清洗機(jī)的清洗方式：
 

　　等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。針對(duì)不同的清洗對(duì)象可挑選O2、H2和Ar等藝氣體進(jìn)行短時(shí)間的表面處理。

 

　　1.化學(xué)反應(yīng)為主的清洗
 

　　運(yùn)用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機(jī)物等做化學(xué)反應(yīng)，又稱(chēng)PE。選用氧氣進(jìn)行清洗，使非揮發(fā)性的有機(jī)物變成易揮發(fā)的形狀，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水?；瘜W(xué)清洗的利益是清潔速度高、挑選性好和對(duì)清洗有機(jī)污染物比較有用， 首要缺點(diǎn)是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線(xiàn)鍵合工藝中，氧化物是不希望有的， 這些缺點(diǎn)能夠通過(guò)恰當(dāng)挑選工藝參數(shù)進(jìn)行防止。
 

　　2.物理反應(yīng)為主的清洗
 

　　運(yùn)用等離子體里的離子做純物理的碰擊，把材 料表面附著的原子打掉，也稱(chēng)為濺射腐蝕(SPE)。 選用氬氣進(jìn)行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器 件表面，碰擊力足以去除任何塵垢。聚合物中的 大分子化學(xué)鍵別離成小分子而汽化，通過(guò)真空泵排 出。一同通過(guò)氬等離子清洗后，能夠改動(dòng)材料表面 的微觀(guān)形狀，使材料在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加“粗 糙”， 可大幅改進(jìn)表面活性，前進(jìn)表面的粘結(jié)性 能。氬等離子的利益是收拾材料表面不會(huì)留下任何 氧化物。缺點(diǎn)是可能產(chǎn)生過(guò)量腐蝕或污染物顆粒重 新積累在其他不希望的區(qū)域，但是這些缺點(diǎn)可通過(guò) 細(xì)調(diào)工藝參數(shù)得到操控。
 

　　3. 物理化學(xué)反應(yīng)一同存在的清洗
 

　　反應(yīng)中物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)均起重要作用的 清洗。 如選用Ar和O2的混合氣體進(jìn)行在線(xiàn)式等離子清洗過(guò)程時(shí)，反應(yīng)速率比單獨(dú)運(yùn)用Ar或O2都要快。氬離子被加快后，產(chǎn)生的動(dòng)能又能前進(jìn)氧離子的反應(yīng)才干，因而用物理化學(xué)辦法可*污染較為嚴(yán)峻的材料表面。